青島福潤德牌frd-105高純砷提純設(shè)備
概述:青島福潤德微電子生產(chǎn)的高純材料提純設(shè)備主要滿足高純砷等新材料制造行業(yè),對(duì)材料進(jìn)行氣氛保護(hù)下的燒結(jié)、升華、還原、精餾等工藝。 歡迎廣大客戶朋友前來洽談業(yè)務(wù)。
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高純材料提純設(shè)備主要滿足高純砷等新材料制造行業(yè),對(duì)材料進(jìn)行氣氛保護(hù)下的燒結(jié)、升華、還原、精餾等工藝。
主要性能指標(biāo):
u外型形式:臥式結(jié)構(gòu),水平爐管
u工作溫度:200℃—1100℃
u恒溫區(qū)長度:根據(jù)工藝要求
u儀表控溫精度:千分之三高精度
u可通工藝氣體:氮?dú)狻⒀鯕狻錃狻鍤獾?
u氣體控制方式:MFC或浮子流量計(jì)控制
u報(bào)警系統(tǒng):氣體壓力異常報(bào)警、斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警
u控制方式:程序控制或工控機(jī)+觸摸屏控制
產(chǎn)品特點(diǎn):
u采用國內(nèi)獨(dú)有的開合式設(shè)計(jì)方式;
u工藝降溫速度快;
u生產(chǎn)效率高;
u設(shè)備維護(hù)簡便
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