多級脈沖電源
概述： 該射頻電源采用3U半機箱設(shè)計，整機功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級脈沖的工作模式。可自定義配置脈沖信號，響應(yīng)速度快，信號質(zhì)量高。支持高速、高精度的調(diào)頻功能。 應(yīng)用特征
該射頻電源采用3U半機箱設(shè)計，整機功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級脈沖的工作模式。可自定義配置脈沖信號，響應(yīng)速度快，信號質(zhì)量高。支持高速、高精度的調(diào)頻功能。
應(yīng)用特征
該電源主要應(yīng)用對象包括：刻蝕、ICP、 PECVD。
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